塵埃粒子最高允許數（每立方米）：大或等于0.5微米的粒子數不能超出3500000個，大或等于5微米的粒子數不能超出20000個；
微生物最高允許數（每立方米）：浮游菌數不能超出500個；菌數不能超出10個每培養皿。

壓差：相同潔凈度等級的潔凈車間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈車間之間壓差要≥5Pa，潔凈車間與非潔凈車間之間要≥10Pa。

10萬級凈化車間工作環境規定：
10萬級無塵室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈服不產生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動±2℃。秋冬季潔凈車間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車間空氣濕度控制在50-70%。
配電：潔凈室（區）的主要生產用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過道等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制：
動態檢測時，萬級無塵室內的噪音級不得超出70分貝A。
靜態檢測時，萬級亂流無塵室的噪音級不能超出60分貝A。
氣流組織
10萬級無塵室主要采用的送風方式：
1.局部孔板頂棚送風；
2.帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風；
3.上側墻送風等三種送風方式。
10萬級無塵室主要采用的回風方式：
1.單側墻下部布置回風口；
2.當采用過道回風時，在過道內均勻布置回風口或在過道端部集中設置回風口。
送風口風速米/秒：
1.孔板孔口3~5；
2.側送風口：
（1）貼附射流2~5；
（2）非貼附射流同側墻下部回風1.5~2.5，對側墻下部回風1.0~1.5。
回風口風速（米/秒）：
1.無塵室回風口不超2；
2.過道內回風口不超4。

10萬級室內空氣參數需求：

1.新風量大。由于這類車間內，人員比較多，能夠依據以下數值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和堅持室內正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。

2.溫濕度需求：溫度通常為24+2 度 ，相對濕度為55+5%

3.送風量大。為了滿意無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。